IC振蕩部分采用可編程鎖相環(PLL),將諧振器振出的頻率進行N倍頻，甚至是小數點倍頻；而為了避免硅片溫度引起的頻率漂移，電路采用了溫度補償。采用鎖相環倍頻方式達到將頻率變高，其相位噪聲不是很好。因此，在一些通信行業，全硅MEMS振蕩器將無法使用。對于利用可編程鎖相環（PLL）進行頻率倍頻，在石英振蕩器中，也同樣可以實現，諧振器部分采用石英晶片，IC振蕩部分采用可編程鎖相環（PLL）,同樣，可以實現“燒錄頻率”，縮短生產周期，并且在石英振蕩器行內確實有這樣的產品。但是，還是一樣的缺點，不建議使用在通信行業，糾其原因，還是因為鎖相環引起的噪聲大，引起高速通信的設備因時鐘基準不穩定，導致數據丟包，無法連接等問題。
